新型薄膜厚度检测装置

摘要

本实用新型提供一种新型薄膜厚度检测装置，包括激光发射模块、光学平台、试件平台、激光接收模块、图像采集模块和图像处理模块；所述激光发射模块发出的激光顺序通过所述光学平台、所述试件平台至所述激光接收模块；所述激光接收模块、所述图像采集模块和所述图像处理模块顺序电性连接。本实用新型的有益效果是：采用激光发射模块和激光接收模块，采集激光透射被检薄膜后的信号，通过图像处理模块进行分析，以判断被检薄膜的厚度，设备成本低。

主权项

一种新型薄膜厚度检测装置，其特征在于：包括激光发射模块、光学平台、试件平台、激光接收模块、图像采集模块和图像处理模块；所述激光发射模块发出的激光顺序通过所述光学平台、所述试件平台至所述激光接收模块；所述激光接收模块、所述图像采集模块和所述图像处理模块顺序电性连接。