发明名称 一种硅片自动纠偏装置
摘要 本发明涉及一种硅片自动纠偏装置。其包括机架、硅片输送机构和硅片纠偏机构;机架的左竖板、右竖板分别竖直固定在机架台板后部的两端,中竖板竖直固定在机架台板后部的中间,连接板后端固定在中竖板上;硅片输送机构包括电缸、气缸、连接块和真空吸盘,电缸水平设置,其两端分别固定在左竖板、右竖板上,电缸有一个可横向水平往复移动的滑动块,气缸固定在该滑动块上,连接块固定在气缸的活塞杆端,在连接块上固定安装有用于吸取硅片的真空吸盘;硅片纠偏机构安装在机架上,并位于硅片输送机构的移动路径上。本发明结构巧妙合理,能够自动调整硅片位置,使得后续硅片焊接时,互联条与硅片待焊接处重合,确保硅片自动焊接的准确率。
申请公布号 CN102244144B 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201110176757.2 申请日期 2011.06.28
申请人 无锡先导自动化设备股份有限公司 发明人 王燕清
分类号 H01L31/18(2006.01)I;B23K37/00(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人 殷红梅
主权项 一种硅片自动纠偏装置,包括机架、硅片输送机构和硅片纠偏机构;所述硅片纠偏机构安装在机架上,并位于硅片输送机构的移动路径上,用于对硅片输送机构吸取的硅片(A)进行纠偏;所述机架包括机架台板(1),其特征在于:所述机架还包括左竖板(2)、右竖板(3)、中竖板(4)和连接板(5),左竖板(2)、右竖板(3)分别竖直固定在机架台板(1)后部的两端,中竖板(4)竖直固定在机架台板(1)后部的中间,连接板(5)后端固定在中竖板(4)上;所述硅片输送机构包括电缸(7)、气缸(8)、连接块(9)和真空吸盘(10),电缸(7)水平设置,其两端分别固定在左竖板(2)、右竖板(3)上,电缸(7)有一个可横向水平往复移动的滑动块(7a),所述气缸(8)固定在该滑动块(7a)上,连接块(9)固定在气缸(8)的活塞杆端,连接块(9)可在气缸(8)带动下升降移动,在连接块(9)上固定安装有用于吸取硅片(A)的真空吸盘(10);所述硅片纠偏机构包括硅片位置微调子机构和摄像头(6),硅片位置微调子机构安装在机架台板(1)上,并位于硅片输送机构移动路径的正下方,硅片位置微调子机构上用于放置硅片(A);所述摄像头(6)安装在连接板(5)的前端下方,位于硅片位置微调子机构的正上方,摄像头(6)用于对放置在硅片位置微调子机构上的硅片(A)进行拍照,并与设定的硅片(A)位置进行对照,计算偏距,给硅片位置微调子机构的调整提供参数依据。
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