发明名称 Measurement Stand and Method of its Electrical Control for Measuring Thin Layers
摘要
申请公布号 GB2495868(A) 申请公布日期 2013.04.24
申请号 GB20130000034 申请日期 2010.03.16
申请人 HELMUT FISCHER GMBH INSTITUT FA¼R ELEKTRONIK UND MESSTECHNIK 发明人 HELMUT FISCHER
分类号 G01B7/06;G01B5/06;G01B21/08 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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