| 摘要 |
Turbomolekularpumpe, mit mindestens einem in einem Gehäuse (16) mittels einer Rotorwelle (10) gelagerten Rotorelement (18) mit mehreren Rotarflügeln (20), mindestens einem in dem Gehäuse (16) angeordneten Statorelement (22, 24) mit mehreren zwischen Rotorflügeln (20) ragenden Statorflügeln (22), und zwei in Endbereichen der Rotorwelle (10) angeordneten Lagerelementen (12, 14), wobei zumindest das hochvakuumseitige Lagerelement (12) als Wälzlager ausbildet ist, und in einer Kammer (36) angeordnet ist, die über mindestens einen Kanal (46) mit einem Druckbereich (48) verbunden ist, in dem ein höherer Druck als im Hochvakuumbereich (34) herrscht, |
