晶圆镀膜之加热平台的水平微调及纪录装置

摘要

本创作系有关于一种晶圆镀膜之加热平台的水平微调及纪录装置，特别是指一种能精密微调晶圆镀膜平台之水平装置，使晶圆能均匀受热，以降低产品之不良率，同时能纪录微调数据。其主要系由固定板、调整台、调整装置及数位千分表所组成，而能利用调整装置之极精细微调，藉以控制调整台两端的水平距离，使固定板能同步随之调整，促使固定板上的加热平台能调整在理想的水平角度，使位于加热平台上的晶圆能均匀受热，以提升晶圆镀膜的品质，且于水平调整后，能藉由数位千分表以纪录微调数据，供下次调整之参考，相当进步且实用者。