| 摘要 |
一种线性运动量测系统，该系统包括有设于一固定载台之一雷射模组、两分光镜、一直角菱镜及对应的三个位置感测器，以及设于一移动载台之两角隅菱镜与一平面镜，且固定载台于对应移动载台平面镜之位置感测器另侧设有一设于透镜移动座之双凸透镜，藉此，透过移动载台反射回来至固定载台的雷射模组之雷射光束，经由该等位置感测器中读值，并使用电脑之软体读取移动载台的值，而绘图出其水平直度、垂直直度、俯仰度误差、翻滚度误差及摇摆度误差等五个自由度之误差值与最大误差值，藉此可以同一时间量测五个自由度的误差，可大大减少测量时间，并降低量测成本。 |
