具耦合型与多向性之软性应力感测装置

摘要

一种具耦合型与多向性之软性应力感测装置，包括一软性基板、一支撑层、一薄膜基材、复数个薄膜感测部、复数个感测电极、复数个感测块、复数个凸块物、以及一填充物。支撑层设置在软性基板上，薄膜基材由支撑层所支撑，薄膜感测部由薄膜基材延伸而出，感测电极对应设置于在薄膜感测部上，感测块对应涂布在感测电极上，而填充物包覆支撑层、薄膜基材、薄膜感测部、感测电极、以及感测块。