有机薄膜电晶体之制备方法以及有机薄膜电晶体之闸极介电层表面处理方法

摘要

本发明系关于一种有机薄膜电晶体之制备方法，包括：(S1)形成闸极于基板上；(S2)形成闸极介电层；(S3)提供气体于闸极介电层表面上，使闸极介电层表面吸附具疏水性之分子；以及(S4)形成有机半导体层、源极、以及汲极于表面吸附有具疏水性分子之闸极介电层表面；其中，气体系至少一选自由：经卤素取代之烃类、非经取代之烃类、及其混合所组成之群组。本发明之有机薄膜电晶体之制备方法利用含碳或含氟之气体分子进行表面处理，提高介电层表面之疏水性，进而提升有机元件的电特性。此外，本发明亦关于一种闸极介电层表面处理方法。