基板检测装置之固持器及基板检测装置

摘要

本发明之基板检测装置包含有用以保持基板之固持器。固持器系使复数支持部平行且等间隔地自安装于多关节机器人之基体部延伸设置，且全体构成为梳齿状。于各支持部之上面设置有用以吸附保持基板之吸附部。再者，于支持部之基端部侧与前端部侧分别安装有木条，且于外侧之支持部之外侧面上安装有支撑木条，又，藉由该等木条，可保持基板之侧缘。