载送及处理基板之装置与方法

摘要

本发明提供装置与方法，用以输送及处理包括晶圆之基板，以较现有系统更有效率，更合理成本下，以提高之产率生产。使用一直线输送腔，包括直线夹具及机械手臂，负载在该直线轨道上，以沿该处理腔之侧边直线输送基板，用以将基板经由一装载区喂入一受控制之气体环境，并行经一输送腔，作为抵达处理腔之通道。