控制一设备中一制程的方法与系统

摘要

本发明揭示一种控制一制程之方法与系统，其藉由建立一用于相对于一设定点控制一制程之参数的比例－积分－微分(PID)控制器的控制因数而控制该制程。经由该制程之一感应器及一第一反馈回路接收关于该制程之该参数的一反馈讯号。基于该反馈讯号自动调整该PID控制器之该控制因数。