目标材料、源、极紫外线微影装置及使用该微影装置之器件制造方法

摘要

本发明揭示一种目标材料，该目标材料经组态以用于经建构及配置以产生具有在一6.8奈米范围内之一波长之一辐射光束的一源中。该目标材料包括：一Gd基组合物，该Gd基组合物经组态以修改Gd之一熔融温度；或Tb；或一Tb基组合物，该Tb基组合物经组态以降低Tb之一熔融温度。