图案缺陷检测方法、光罩制造方法以及显示装置基板制造方法

摘要

一种缺陷检测方法，适合检测产生在光罩50之主要图案56中之缺陷。主要图案56包括重复图案，其具有周期性排列之单位图案。本方法于形成主要图案56的同时，形成检测用之辅助图案57。辅助图案57包括具有间距不同于主要图案56之间距的重复图案51。本方法以预定之入射角照射光线在辅助图案57上，并以观测装置接收由辅助图案57所产生之绕射光线来侦测辅助图案57之缺陷，藉以决定主要图案56之缺陷的存在。