适合作为酸产生剂之盐及含有该盐之化学放大型光阻组成物

摘要

本发明提供一种式(L)之盐;式(L)之盐：;(L);其中Q代表－CO－基或－C(OH)－基；环X代表具有3至30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q为－C(OH)－基时，在Q位置的氢原子为羟基所取代，或当Q为－CO－基时，在Q位置的两个氢原子为＝O基所取代，且在该单环或多环烃基中的至少一个氢原子可视需要经下列基团所取代：具有1至6个碳原子的烷基、具有1至6个碳原子的烷氧基、具有1至4个碳原子的全氟烷基、具有1至6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基；R10和R20各独立地代表氟原子或具有1至6个碳原子的全氟烷基；且A＋代表有机抗衡离子。;本发明也提供一种包含式(L)之盐之化学放大型光阻组成物。