发明名称 准分子灯装置
摘要 课题;提供一种具备以简便构造抑制依氧气浓度变动的大气对流所致的紫外线的测定值变动的光感测器的准分子灯装置。;解决手段;一种准分子灯装置,具有收纳测定从准分子灯(2)所放射的紫外准分子光的光感测器(3)及准分子灯(2)的筐体(4)的准分子灯装置,其特征为:光感测器(3)是具有光监测器部(33),及筒状部(31),及基台部(32),筒状部(31)是具有:从基台部(32)侧朝准分子灯(2)侧所形成的渐次小径化部(313),及形成于比渐次小径化部(313)还要接近准分子灯(2)的最小内径部(314),及由最小内径部(314)朝准分子灯(2)侧所形成的渐次大径化部(315)测定紫外准分子光时,将从气体导入口(321)所导入的惰性气体经筒状部(31)内,从筒状部(31)的开口(312)被放出。
申请公布号 TWI394198 申请公布日期 2013.04.21
申请号 TW098127274 申请日期 2009.08.13
申请人 牛尾电机股份有限公司 日本 发明人 大塚优一;山森贤治
分类号 H01J65/00 主分类号 H01J65/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本