微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示一种微影装置，其经配置以将一来自一图案化元件之图案投影至一基板上。该微影装置包括一照明系统及一出口，该出口连接至一抽汲系统，以自该照明系统之一内壁与外壁之间抽离气体，或在存在一辐射源的情况下，自该照明系统之该内壁与该辐射源之一内壁之间抽离气体。