发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Halbleiterkristalls, und Halbleiterkristall
摘要 <p>Es wird ein Verfahren zum Erzeugen eines Halbleiterkristalls angegeben. Das Verfahren umfasst Schritte: zum Vorbereiten eines länglichen Behälters (1) mit einem Impfkristall (8) und einer Schmelze (9) mit einer darin enthaltenen Verunreinigung, die in einem unteren Abschnitt (1b) platziert sind, und mit einem Aufhängungsteil (2), der in einem oberen Abschnitt (1a) angeordnet ist und an dem ein tropfender Rohmaterialblock (11) aus einem Halbleitermaterial mit einer Verunreinigungskonzentration, die geringer als diejenige der Schmelze (9) mit der darin enthaltenen Verunreinigung ist, aufgehängt wird; zum Erzeugen eines Temperaturgradienten in der Längsrichtung des länglichen Behälters (1), um den tropfenden Rohmaterialblock (11) zu schmelzen; und zum Verfestigen des Schmelze mit der darin enthaltenen Verunreinigung (9) von der Seite, die in Kontakt mit dem Impfkristall (8) ist, während eine erzeugte Schmelze (13) in die Schmelze (9) mit einer darin enthaltenen Verunreinigung tropft, um einen Halbleiterkristall (12) zu erzeugen.</p>
申请公布号 DE112010003035(T5) 申请公布日期 2013.04.18
申请号 DE20101103035T 申请日期 2010.07.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 KAWASE, TOMOHIRO;SAKURADA, TAKASHI
分类号 C30B11/06;C30B29/44;H01L21/208 主分类号 C30B11/06
代理机构 代理人
主权项
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