发明名称 Transistor mit reduzierter Ladungsträgermobilität und assoziierte Verfahren sowie SRAM-Zelle mit solchen Transistoren
摘要 Vorrichtung (400, 500), die Folgendes umfasst: einen ersten Transistor (420; 510, 520) mit einem Steg und einen zweiten Transistor (330) mit einem Steg, wobei der Steg des ersten Transistors (420; 510, 520) eine niedrigere Ladungsträgermobilität als der Steg des zweiten Transistors (330) aufweist, wobei ein Kanal in dem Steg des ersten Transistors (420; 510, 520) dotiert ist und ein Kanal in dem Steg des zweiten Transistors (330) undatiert oder mit einer Konzentration dotiert ist, die wesentlich kleiner ist als eine Konzentration eines Dotierstoffs des ersten Transistors (420; 510, 520), und wobei der Kanal des ersten Transistors (420; 510, 520) mit einem ersten Dotierstoff einer ersten Polarität dotiert ist und mit einem zweiten Dotierstoff einer der ersten Polarität entgegengesetzten zweiten Polarität mit einem Verhältnis von etwa 1:1 gegendotiert ist.
申请公布号 DE102008001534(B4) 申请公布日期 2013.04.18
申请号 DE20081001534 申请日期 2008.05.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BERTHOLD, JOERG;PACHA, CHRISTIAN;VON ARNIM, KLAUS
分类号 H01L27/11;G11C11/40;H01L21/8244;H01L27/092 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
主权项
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