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Die Erfindung bezieht sich auf einen Ultraschallsensor, insbesondere ein Ultraschallsensorfeld (10) mit einer Anzahl von MEMS-Komponenten (14). Diese sind in einzelnen Sensorfeldzellen (12) angeordnet, deren Öffnungen von einer Deckschicht (20) überdeckt sind. Zwischen der Deckschicht (20) und der MEMS-Komponenten (14), die in einer jeweiligen Sensorfeldzelle (12) angeordnet ist, besteht ein Abstand (28). Zwischen der Deckschicht (20) und der MEMS-Komponente (14) in der jeweiligen Sensorfeldzelle (12) ist ein Luftvolumen (24) zur Schallübertragung eingeschlossen.
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