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发明名称 Method for purifying chlorosilanes
摘要
申请公布号 AU2010283420(B2) 申请公布日期 2013.04.18
申请号 AU20100283420 申请日期 2010.07.07
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 NAGAI, NAOKI;SHIMIZU, TAKAAKI;UEHARA, KATSUHIRO;KUBOTA, TOHRU
分类号 C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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