一种二自由度的X-Y工作台

摘要

本发明公布了一种二自由度的X-Y工作台，包括固定结构、第一滑动结构、第二滑动结构、多自由度超声电机、多自由度超声电机控制装置、底板、加压装置；第一滑动结构安装在固定结构上，第二滑动结构安装在第一滑动结构上；多自由度超声电机一端与第二滑动结构相连接，另一端和底板相接触，并通过加压装置使多自由度超声电机对底板保持一定的压力；工作台连接板固定安装在第二滑动结构上；多自由度超声电机控制装置通过信号激励来控制多自由度超声电机；多自由度超声电机通过振动来控制工作台连接板在X-Y方向上方向滑动。本发明实现了单个超声电机在二自由度工作台上的精确定位使用。

主权项

一种二自由度的X‑Y工作台，包括固定结构(1)、第一滑动结构(2)、第二滑动结构(3)，其特征在于：还包括多自由度超声电机（6）、多自由度超声电机控制装置、底板（4）、 加压装置（7）；所述第一滑动结构（2）安装在所述固定结构（1）上，所述第二滑动结构（3）安装在所述第一滑动结构（1）上；所述多自由度超声电机（6）一端与所述第二滑动结构（3）相连接，另一端和底板（4）相接触，并通过加压装置（7）使多自由度超声电机（6）对底板（4）保持一定的压力；所述工作台连接板（15）固定安装在所述第二滑动结构（3）上；所述多自由度超声电机控制装置通过信号激励来控制多自由度超声电机（6）；所述多自由度超声电机（6）通过振动来控制工作台连接板（15）在X‑Y方向上方向滑动。