| 发明名称 | 流体喷射装置 | ||
| 摘要 | 一种装置，包括用于提供流体的流体供给口；连接至所述流体供给口以接收所述流体的入口；连接至所述入口的第一缓冲部；两条或两条以上与所述第一缓冲部连通的连接通路；与所述连接通路连通的第二缓冲部；及连接至所述第二缓冲部以将所述流体提供至基片上的出口。 | ||
| 申请公布号 | CN103041940A | 申请公布日期 | 2013.04.17 |
| 申请号 | CN201210413634.0 | 申请日期 | 2012.10.15 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 李奉文 |
| 分类号 | B05B9/03(2006.01)I;B05B12/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | B05B9/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 31242 | 代理人 | 尹洪波;段迎春 |
| 主权项 | 一种流体喷射装置，包括：用于提供流体的流体供给口；连接至所述流体供给口以接收所述流体的入口；连接至所述入口的第一缓冲部；两条以上与所述第一缓冲部连通的连接通路；与所述连接通路连通的第二缓冲部；及连接至所述第二缓冲部以将所述流体提供至基片上的出口。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道天安市西北区稷山邑毛枾里278番地 | ||