一种能自动调压的干式真空泵控制方法

摘要

一种能自动调压的干式真空泵控制方法，测量从大气压到真空状态时真空腔体的真空度参数，比较目标真空度参数与已存的真空度参数，读取频率信号，使真空腔体达到频率信号下的真空度，通过循环逼近过程，完成闭环控制。本发明可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。

主权项

一种能自动调压的干式真空泵控制方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：使真空腔体从大气压到真空状态，复合真空计测量此过程中的真空度参数，并记录在CPU控制单元；步骤2：CPU控制单元接收人机界面发出的目标真空度指令，完成目标真空度参数设置，将目标真空度参数与已存的真空度参数进行比较，读取已存真空度参数中接近的频率信号发送给三相交流变频器；步骤3：三相交流变频器通过对三相交流异步电动机转速的改变，控制多级干式真空泵和罗茨真空泵的抽速，使真空腔体达到频率信号下的真空度；步骤4：读取当前真空腔体的真空度参数，再与目标真空度参数进行比较，通过循环逼近过程，使真空腔体达到目标真空度，完成闭环控制。