钟罩式四氯化硅加热炉

摘要

本发明提供的钟罩式四氯化硅加热炉，包括钟罩式炉壳，所述钟罩式炉壳上安装有防爆型测温装置与绝缘炉衬支架，所述绝缘炉衬支架上设置有电阻加热带，所述电阻加热带通过接线柱与炉外的防爆接线盒及控制柜连接，通过防爆型测温装置将温度信号传输给控制柜，通过控制柜根据炉内温度变化对电阻加热带进行通电控制；炉内包括换热盘管，所述换热盘管通过盘管支撑固定于炉内；所述钟罩炉顶部设置盘管进口与盘管出口，工艺介质从盘管进口进入，在炉内被加热后，从盘管出口送出。本发明提供的钟罩式四氯化硅加热炉结构简单、气体加热均匀、节能防爆、稳定可靠，可保证生产安全稳定的运行。

主权项

钟罩式四氯化硅加热炉，包括钟罩式炉壳，所述钟罩式炉壳上安装有防爆型测温装置与绝缘炉衬支架，所述绝缘炉衬支架上设置有电阻加热带，所述电阻加热带通过接线柱与炉外的防爆接线盒及控制柜连接；换热盘管，所述换热盘管通过盘管支撑固定于炉内；所述钟罩式四氯化硅加热炉顶部设置盘管进口与盘管出口。