发明名称 PHOTORESIST REMOVING PROCESSOR AND METHODS
摘要
申请公布号 KR20130038212(A) 申请公布日期 2013.04.17
申请号 KR20127025818 申请日期 2011.03.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BERGMAN ERIC J.;LEONHARD JERRY DUSTIN;PUCH BRYAN;RYE JASON
分类号 C23G1/02;G03F7/42 主分类号 C23G1/02
代理机构 代理人
主权项
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