微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法

摘要

本发明提供一种微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法，包括以下步骤：在衬底上设置隔离槽掩蔽层；制作隔离槽；设置介质支撑膜和释放阻挡带；在上述介质支撑膜上设置第一热偶条和加热电阻条；在上述第一热偶条和加热电阻条上方设置释放保护膜；设置电绝缘热导通结构；形成金属电极及金属连接线，形成第二热偶条；在上述已形成金属电极及金属连接线和第二热偶条的基底上设置腐蚀释放通道；利用腐蚀释放通道腐蚀衬底，得到用释放阻挡带封闭起来的热隔离腔体。本发明用于微纳尺度材料赛贝克系数测量。

主权项

一种微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)步骤，提供衬底(101)，并在所述衬底(101)上设置隔离槽掩蔽层(102)；(b)步骤，在上述设置了隔离槽掩蔽层(102)的衬底(101)上制作隔离槽(202)；(c)步骤，在上述制作了隔离槽(202)的衬底101上设置介质支撑膜(301)和释放阻挡带(302)；(d)步骤，在上述介质支撑膜(301)上设置第一热偶条(8)和加热电阻条(401)；其中加热电阻条(401)包括第一加热电阻条(10)和第二加热电阻条(11)，第一加热电阻条(10)和第二加热电阻条(11)掺杂浓度和/或尺寸参数不同，使得第一加热电阻条(10)的电阻值小于第二加热电阻条(11)的电阻值；(e)步骤，在上述第一热偶条(8)和加热电阻条(401)上方设置释放保护膜(501)；所述释放保护膜(501)同时作为金属和第一热偶条(8)之间的电绝缘材料，以及金属和加热电阻条(401)之间的电绝缘材料，其覆盖的区域包括除金属电极与加热电阻条交叠位置(503)、金属与第一热偶条连接位置(502)以及金属与加热电阻条连接位置(504)外的基底上表面所有区域；(f)步骤，在上述金属电极与加热电阻条交叠位置(503)处设置电绝缘热导通结构(601)；(g)步骤，在上述已制作电绝缘热导通结构(601)的基底上溅射金属层，形成金属电极及金属连接线(701)，形成第二热偶条(9)；金属电极及金属连接线(701)包括各金属电极和金属电极上的突出部，其中，金属电极包括第一金属电极(1)、第二金属电极(2)、第三金属电极(3)、第四金属电极(4)、第五金属电极(5)、第六金属电极(6)和第七金属电极(7)；(h)步骤，在上述已形成金属电极及金属连接线(701)和第二热偶条(9)的基底上设置腐蚀释放通道(802)；(i)步骤，利用腐蚀释放通道(802)腐蚀衬底(101)，得到用释放阻挡带(302)封闭起来的热隔离腔体(901)。