一种真空泵粉尘沉积过滤装置

摘要

本发明涉及真空泵技术领域，具体地说是一种真空泵粉尘沉积过滤装置。包括冷却腔、导流机构、及冷却腔盖板，其中导流机构的外侧设有冷却腔，所述冷却腔的下端设有冷却腔盖板，所述导流机构容置于冷却腔和冷却腔盖板所形成的内腔内，所述冷却腔的上端设有与内腔连通的进气口，所述冷却腔盖板上设有出气口，气体经过内腔时通过导流机构和冷却腔的腔体壁沉积粉尘。本发明具有结构简单，易于实现、减少真空泵的维护次数，增加真空泵的使用寿命等特点，适用于光伏、半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业应用的真空泵系统中。

主权项

一种真空泵粉尘沉积过滤装置，其特征在于：包括冷却腔(1)、导流机构(3)、及冷却腔盖板(6)，其中导流机构(3)的外侧设有冷却腔(1)，所述冷却腔(1)的下端设有冷却腔盖板(6)，所述导流机构(3)容置于冷却腔(1)和冷却腔盖板(6)所形成的内腔(12)内，所述冷却腔(1)的上端设有与内腔(12)连通的进气口(8)，所述冷却腔盖板(6)上设有出气口(9)，气体经过内腔(12)时通过导流机构(3)和冷却腔(1)的腔体壁沉积粉尘。