一种水解法处理四氯化硅的方法和系统

摘要

本发明提供了一种处理多晶硅生产的副产物四氯化硅的方法和系统，通过将四氯化硅水解转化为无水氯化氢气体，同时生成白炭黑，从而将毒害物质四氯化硅转化为高价值的产品。其中无水氯化氢气体可以用于制备多晶硅生产的原料三氯氢硅，从而实现了多晶硅生产中氯元素的循环利用，达到资源节约和环境友好的目的。

主权项

一种水解法处理四氯化硅生产无水氯化氢的方法，包括：(1)氯化氢制备：四氯化硅与盐酸溶液中的水进行反应，得到二氧化硅与盐酸溶液组成的浆料和氯化氢原料气；将所述浆料采出；(2)深度脱水：所述氯化氢原料气不经处理、或经过精馏初步脱水后，由脱水塔的底部进入脱水塔向上流动，并与从脱水塔塔顶向下流动的无水氯化氢液体逆流接触，脱水塔塔顶排出氯化氢气体，脱水塔塔底排出吸收水分后的氯化氢液体，其中，所述从脱水塔塔顶向下流动的无水氯化氢液体的温度低于在脱水塔内压力下含水量为10×10‑6的氯化氢气体的露点，并且质量流率高于塔顶排出的氯化氢气体质量流率的20％；所述自脱水塔塔顶排出的即为无水氯化氢气体。