一种八寸晶圆框架

摘要

本实用新型公开了一种八寸晶圆框架，包括一框架主体，所述框架主体为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状；在此其截取位置四条边定义为截取边，相邻所述截取边之间的框架主体弧形外边缘部分定义为弧形边；其中，间隔的两个所述截取边相互平行，相邻的两个所述截取边相互垂直；且四条所述截取边中的其中一条截取边两端设有两个齿形缺口。通过将框架主体设计为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状；且四条所述截取边中的其中一条边两端设有两个齿形缺口，使得晶圆加工时支撑效果好，易于加工，从而达到了设计合理、结构简单、且固定牢固应用效果好的目的。

主权项

一种八寸晶圆框架，其特征在于，包括一框架主体，所述框架主体为圆环形被沿其外边缘截取四部分后的形状；在此其截取位置四条边定义为截取边，相邻所述截取边之间的框架主体弧形外边缘部分定义为弧形边；其中，间隔的两个所述截取边相互平行，相邻的两个所述截取边相互垂直；且四条所述截取边中的其中一条截取边两端设有两个齿形缺口；所述两个齿形缺口中的一个齿形缺口夹角为60°，另一个齿形缺口夹角为120°。