温度补偿薄膜体波谐振器及加工方法

摘要

一种温度补偿薄膜体波谐振器及加工方法，谐振器有：基底；基底上的声反射镜；声反射镜上的底电极；底电极上的压电层；压电层上的复合结构，复合结构包括：压电层上的第一电极；第一电极上的温度补偿层；温度补偿层上的第二电极，它与第一电极导电连接。方法：在基底上形成声反射层；在声反射层上形成底电极层；在底电极层上形成压电层；在压电层上形成第一电极；在第一电极上形成温度补偿层；在温度补偿层上形成一个或多个导通孔或沟道；在温度补偿层上填充导电材料与第一电极相连；平坦化处理导电材料；将第二电极沉积在平坦的温度补偿层上与第一电极相连。本发明在满足谐振频率温度补偿的同时，能实现更高的值，拓宽了该谐振器的应用范围。

主权项

一种温度补偿薄膜体波谐振器，其特征在于，包括如下结构：（a）基底；（b）位于基底上的声反射镜；（c）位于声反射镜上的底电极；（d）位于底电极上的压电层；（e）位于压电层上的复合结构，所述的复合结构包括：（ⅰ）压电层上的第一电极；（ⅱ）第一电极上的温度补偿层；（ⅲ）温度补偿层上的第二电极，它与第一电极导电连接。