| 发明名称 | 静电吸盘及静电吸盘的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种静电吸盘，是具备电介体基板的静电吸盘，该电介体基板具有：突起部，形成在载放被吸附物侧的主面上；及平面部，形成在所述突起部的周围，其特征在于，所述电介体基板由多晶陶瓷烧结体形成，用激光显微镜求出的所述主面中的干涉条纹占有面积率小于1%。可以提供一种静电吸盘及静电吸盘的制造方法，可抑制产生颗粒。 | ||
| 申请公布号 | CN103053018A | 申请公布日期 | 2013.04.17 |
| 申请号 | CN201180037611.8 | 申请日期 | 2011.08.11 |
| 申请人 | TOTO株式会社 | 发明人 | 石川佳津子;米澤顺治;青岛利裕 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B23Q3/15(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 周善来;李雪春 |
| 主权项 | 一种静电吸盘，是具备电介体基板的静电吸盘，该电介体基板具有：突起部，形成在载放被吸附物侧的主面上；及平面部，形成在所述突起部的周围，其特征在于，所述电介体基板由多晶陶瓷烧结体形成，用激光显微镜求出的所述主面中的干涉条纹占有面积率小于1%。 | ||
| 地址 | 日本福冈县 | ||