一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法

摘要

一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域，该方法包括如下步骤：测试过程中引入一定的倾斜量，多次测量结果的平均值作为参考值，取其中一次测试结果减去参考值，获得其中一次测试结果的随机测试误差，根据不同误差源的特性，对其进行分析，从而分析得到干涉测量过程中的主要误差源。本发明通过对随机误差的模态进行分析，通过比对各种误差源引起的随机误差模态之间的差异来快速获得移相干涉仪中随机误差源的种类，为干涉仪的维护和使用提供简便快捷的指导。

主权项

一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：使用移相干涉仪对一良好波前进行多次测量，测量过程中引入倾斜，取引入倾斜后多次测量结果的平均值作为参考相位；然后随机取其中一次测试相位，减去参考相位，获得一次随机测量结果的测试误差：步骤二：通过对移相干涉仪随机误差源的分析，得到不同种类的误差源与测试误差之间的关系，推导获得移相不准确引起的随机误差、振动引起的位置噪声误差、光源功率不稳定引起的随机误差和光源中心频率漂移引起的误差特性；步骤三：根据分析获得的不同误差源引起的随机误差的特性，对比步骤一中获得测试结果中的测试误差，确定干涉仪中的主要误差源。