一种新型混合节能式半导体制程用制冷机

摘要

本实用新型涉及一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一和热交换器二，热交换器一和热交换器二分别连接有蒸发器一和蒸发器二，蒸发器一和蒸发器二连接有两台的压缩机，两台压缩机连接有冷凝器，冷凝器分别连接有电子膨胀阀门和脉宽调制阀门。本实用新型的有益效果为：本实用新型提供的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，能够根据制程所需功率来控制实时冷媒流量，同时可以控制压缩机的运行台数及其运行功率，由于制冷机在投入制程后不间断的24小时运行，这种混合式的方法可以大幅度地降低能量的消耗，节能环保，同时能够实现长时间无故障运行，确保在高温状态下的安全运行。

主权项

一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，其特征在于：所述热交换器包括热交换器一（1）和热交换器二（2），热交换器一（1）和热交换器二（2）分别连接有蒸发器一（3）和蒸发器二（4），蒸发器一（3）和蒸发器二（4）均连接有储水罐（5），储水罐（5）的出口处设有冷却剂泵（6），蒸发器一（3）和蒸发器二（4）连接有两台相配合的压缩机（7），两台压缩机（7）连接有冷凝器（10），冷凝器（10）分别连接有电子膨胀阀门（8）和脉宽调制阀门（9），电子膨胀阀门（8）连接蒸发器一（3），脉宽调制阀门（9）连接蒸发器二（4）。