发明名称 |
一种键合力控制装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种键合力控制装置,属于机电技术领域,包括控制系统、波形发生器、放大电路、压电换能器、键合设备和工作台,键合设备上部安装有压电换能器,压电换能器通过导线与放大电路相连接,放大电路通过导线与波形发生器相连接,波形发生器通过导线与控制系统相连接,键合设备的一侧安放有工作台。所述键合设备为MG10型半自动金球引线键合机。所述波形发生器为安捷伦N8241A可编程波形发生器。本实用新型可通过键合设备控制系统控制波形发生器产生相应波形信号,经过放大后传输给压电换能器,并产生相应准确的输出力。此装置可以输出任意形式的对应键合力,保证了键合过程的质量稳定性。 |
申请公布号 |
CN202888136U |
申请公布日期 |
2013.04.17 |
申请号 |
CN201220629615.7 |
申请日期 |
2012.11.26 |
申请人 |
浙江海洋学院 |
发明人 |
冯武卫 |
分类号 |
H01L21/607(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/607(2006.01)I |
代理机构 |
宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 |
代理人 |
王树镛 |
主权项 |
一种键合力控制装置,包括控制系统(1)、波形发生器(2)、放大电路(3)、压电换能器(4)、键合设备(5)和工作台(6),其特征是:键合设备(5)上部安装有压电换能器(4),压电换能器(4)通过导线与放大电路(3)相连接,放大电路(3)通过导线与波形发生器(2)相连接,波形发生器(2)通过导线与控制系统(1)相连接,键合设备(5)的一侧安放有工作台(6)。 |
地址 |
316000 浙江省舟山市定海区文化路105号 |