化学药液供给系统

摘要

本发明涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液；供液装置用于接收控制器的指令，并根据指令将主用储液罐或备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；控制器用于控制供液装置将化学药液输送给外部设备。本发明提出的化学药液供给系统能够在不间断供给的情况下更换药液储液罐，液体流动相对封闭，且能够解决药液流量变化较大时同一套供液系统不兼容的问题。

主权项

一种化学药液供给系统，其特征在于，所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：所述供液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐以及所述控制器相连接；所述主用储液罐及所述备用储液罐用于储存并提供化学药液；所述供液装置用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；所述控制器用于控制所述供液装置将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备。