热式流量传感器

摘要

本发明的目的在于提供，减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化，小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器，具有：在半导体衬底（1）上形成的空洞部（2）、以覆盖上述空洞部（2）的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体（4）、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部（11）、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部（5），基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量，其中：调整上述热电阻，以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。

主权项

一种热式流量传感器，具有：在半导体衬底上形成的空洞部、以覆盖上述空洞部的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部，所述热式流量传感器基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量，该热式流量传感器的特征在于：以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等的方式，调整上述热电阻。