一种光刻机投影物镜镜头的装调装置

摘要

一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜镜头的高精度自动装配、检测、调整问题。本发明装置包括Z轴立柱、上检测立柱、上检测头、可动调整平台、气浮转台、水平大理石平台、调整机构、隔振支撑腿和调整平台连接支架；所述Z轴立柱、上检测立柱和气浮转台分别垂直固定在水平大理石平台上；所述上检测头通过上检测头架固定在上检测立柱上，调整机构固定在可动调整平台的上表面，所述可动调整平台通过调整平台连接支架固定在Z轴立柱上，水平大理石平台通过四个隔振支撑腿支撑在隔振地基上本发明装置具有良好的实时性，极大的提高了光刻投影物镜的装调效率。

主权项

一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，该装置包括 Z轴立柱（1）、上检测立柱（2）、上检测头（3）、可动调整平台（6）、气浮转台（7）、水平大理石平台（8）、调整机构（9）、隔振支撑腿（10）和调整平台连接支架（11）；其特征是，所述Z轴立柱（1）、上检测立柱（2）和气浮转台（7）分别垂直固定在水平大理石平台（8）上；所述上检测头（3）通过上检测头支架（3‑1）固定在上检测立柱（2）上，调整机构（9）固定在可动调整平台（6）的上表面，所述可动调整平台（6）通过调整平台连接支架（11）固定在Z轴立柱（1）上，水平大理石平台（8）通过四个隔振支撑腿（10）支撑在隔振地基上；所述Z轴立柱（1）包括直线电机（1‑1）、Z轴竖直导轨（1‑2）、Z轴运动台（1‑3）和Z轴底座（1‑4）；所述直线电机（1‑1）和Z轴竖直导轨（1‑2）分别固定在Z轴立柱（1）的垂直面上；所述Z轴竖直导轨（1‑2）对Z轴运动台（1‑3）进行运动导向；直线电机（1‑1）驱动Z轴运动台（1‑3）沿Z轴竖直导轨（1‑2）进行垂直方向的上下运动；所述Z轴底座（1‑4）固定在水平大理石平台（8）的上表面。