超纯液氨充装设备

摘要

本实用新型公开了一种超纯液氨充装设备，该装置包括超纯液氨成品罐、温控循环热水汽化器、加热温控装置、成品氨钢瓶、在线氨纯度分析监测仪、液相管阀、气相管阀，所述温控循环热水汽化器设置于超纯液氨成品罐内的中下端位置，所述成品氨钢瓶外部包裹有易拆装式的加热温控装置，所述超纯液氨成品罐的底端出口设有液相管阀与成品氨钢瓶连接，所述在线氨纯度分析监测仪的一端为进样气管阀连接成品氨钢瓶，另一端为排放气管阀，采用该系统不需机械泵、也不需真空泵运动件，使得耗能减小、系统简单、不易泄漏，不会对成品氨钢瓶造成二次污染。

主权项

一种超纯液氨充装设备，其特征是该装置包括超纯液氨成品罐、温控循环热水汽化器、加热温控装置、成品氨钢瓶、在线氨纯度分析监测仪、液相管阀、气相管阀，所述温控循环热水汽化器设置于超纯液氨成品罐内的中下端位置，所述成品氨钢瓶外部包裹有易拆装式的加热温控装置，所述超纯液氨成品罐的底端出口设有液相管阀与成品氨钢瓶连接，所述在线氨纯度分析监测仪的一端为进样气管阀连接成品氨钢瓶，另一端为排放气管阀。