高灵敏度光纤光栅氢气传感器探头的制备方法

摘要

本发明涉及高灵敏度光纤光栅氢气传感器探头的制备方法。其制法是将沉积有Ti薄膜的光纤光栅与刻蚀有凹槽的玻璃基底粘结一起，且光纤光栅的栅区位于凹槽的；将改性WO3-Pt复合氢气敏感材料与去离子水混合均匀后涂覆凹槽中，并均匀地覆盖在光纤光栅的栅区部分；烘干WO3-Pt复合氢气敏感材料后，将所述的玻璃基底连同沉积有Ti薄膜的光纤光栅封装在多孔Ti管中，即得到高灵敏度光纤光栅氢气传感器探头。本法通过热处理控制氢气敏感材料中WO3的物相和催化剂Pt的含量以提高其氢气敏感性能；将光纤光栅镀保护层Ti膜进行温度增敏，以进一步提高传感器的灵敏度和稳定性。本方法对光纤光栅氢气传感器的实用化具有重要意义。

主权项

一种高灵敏度光纤光栅氢气传感器探头的制备方法，其特征在于方法步骤为：将沉积有Ti薄膜的光纤光栅与刻蚀有凹槽的玻璃基底粘结一起，且光纤光栅的栅区位于凹槽的中央；将改性WO3‑Pt复合氢气敏感材料与去离子水混合均匀后涂覆凹槽中，并均匀地覆盖在光纤光栅的栅区部分；烘干WO3‑Pt复合氢气敏感材料后，将所述的玻璃基底连同沉积有Ti薄膜的光纤光栅封装在多孔Ti管中，即得到高灵敏度光纤光栅氢气传感器探头。