发明名称 |
清洗过滤器的循环装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种清洗过滤器的循环装置,包括过滤器和供给泵,所述过滤器第一端连接所述供给泵,所述过滤器的第二端连接一需求设备,所述清洗过滤器的循环装置还包括:供液管道、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和排液管道;所述供液管道第一端通过第一阀门连接到供给泵的第一端,所述供给泵的第一端通过第二阀门连接到需求设备,所述供给泵的第二端连接到所述过滤器的第一端,所述过滤器的第二端通过第三阀门连接到需求设备,所述过滤器的第二端通过第四阀门连接到排液管道,所述过滤器的第二端还连接到供液管的第二端。通过采用本实用新型的清洗过滤器的循环装置可以显著降低更换过滤器的频率,同时减少专业对应人员数量和对应时间,从而有效的降低了生产成本。 |
申请公布号 |
CN202876512U |
申请公布日期 |
2013.04.17 |
申请号 |
CN201220520561.0 |
申请日期 |
2012.10.11 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
陈峰;沈雪松;卫金荣;倪尧;肖方 |
分类号 |
B01D35/00(2006.01)I;B01D35/143(2006.01)I |
主分类号 |
B01D35/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种清洗过滤器的循环装置,包括过滤器和供给泵,所述过滤器第一端连接所述供给泵,所述过滤器的第二端连接一需求设备,其特征在于,所述清洗过滤器的循环装置还包括:供液管道、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和排液管道;所述供液管道的第一端通过第一阀门连接到所述供给泵的第一端,所述供给泵的第一端还通过第二阀门连接到所述需求设备,所述供给泵的第二端连接到所述过滤器的第一端,所述过滤器的第二端通过第三阀门连接到需求设备,所述过滤器的第二端还通过第四阀门连接到所述排液管道,所述过滤器的第二端还连接到供液管的第二端。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |