便携式气体微流量校准装置

摘要

本实用新型涉及便携式气体微流量校准装置，属于测量技术领域，用于微小流量真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的实验室、现场和在线校准测试。包括机械泵、分子泵、8个真空阀门、校准室、四极质谱计、被校准真空漏孔、小孔、微调阀、气源、2个真空规和稳压室。系统具有结构简单、精度高、重量小、体积小、便携等特点，用于现场或者线真空漏孔、检漏仪、气体微流量计的校准测试，系统不仅降低了建立系统的成本，提高了校准的效率，而且使校准环境与使用环境基本相同，提高了气体微流量的量值传递精度，为科学研究、企业生产、对外贸易降低了成本。

主权项

便携式气体微流量校准装置，其特征在于：包括机械泵(1)、分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、第六真空阀门(15)、第七真空阀门(17)、第八真空阀门(19)、校准室(5)、四极质谱计(6)、被校准真空漏孔(7)、小孔(9)、微调阀(12)、气源(13)、第一真空规(14)、第二真空规(18)和稳压室(16)；机械泵(1)与分子泵(2)的一端连接，分子泵(2)的另一端与第一真空阀门(3)的一端、第二真空阀门(4)的一端连接；第二真空阀门(4)的另一端与校准室(5)的底端连接；第一真空阀门(3)的另一端与稳压室(16)连接；校准室(5)的赤道法兰上安装四级质谱计6和第八真空阀门(19)，校准室(5)的顶端与第三真空阀门(8)的一端、小孔(9)的一端、第四真空阀门(10)的一端连接；第三真空阀门(8)的另一端与被校准真空漏孔(7)连接；小孔(9)的另一端与第四真空阀门(10)的另一端、第五真空阀门(11)的一端连接；第四真空阀门(10)的另一端与第五真空阀门(11)的一端连接；第五真空阀门(11)的另一端与微调阀(12)的一端、稳压室(16)连接；微调阀(12)的另一端与气源(13)连接；稳压室(16)上安装第六真空阀门(15)和第七真空阀门(17)；第六真空阀门(15)的另一端与第一真空规(14)连接；第七真空阀门(17)的另一端与第二真空规(18)的一端连接；第二真空规(18)的另一端与第八真空阀门(19)连接；被校准真空漏孔(7)放置在采用泡沫保温的恒温箱中；上述各部分之间通过管路连接。