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发明名称
摘要
申请公布号 NL6616236(A) 申请公布日期 1967.05.22
申请号 NL19660016236 申请日期 1966.11.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L29/00;H01L29/36;H01L29/40;H01L29/749;H01L29/76;H01L29/86 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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