| 发明名称 | 一种热驱动MEMS微镜 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种热驱动MEMS微镜，包括镜面（1）、驱动臂（2）、微镜边框（3）和隔热连接件（4），所述驱动臂（2）的两端分别通过隔热连接件（4）与微镜边框（3）、镜面（1）相连接；本发明设计的热驱动MEMS微镜能够有效增强驱动臂（2）上的热响应率，且能有效降低驱动臂（2）上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103048783A | 申请公布日期 | 2013.04.17 |
| 申请号 | CN201210560987.3 | 申请日期 | 2012.12.21 |
| 申请人 | 无锡微奥科技有限公司 | 发明人 | 丁金玲;谢会开;陈巧 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 许方 |
| 主权项 | 一种热驱动MEMS微镜，包括镜面（1）、驱动臂（2）和微镜边框（3），其特征在于：还包括隔热连接件（4），所述驱动臂（2）的两端分别通过隔热连接件（4）与微镜边框（3）、镜面（1）相连接。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市无锡新区长江路16号软件园8905室 | ||