一种光刻版结构及其制造方法

摘要

本发明提供了一种光刻版结构，包括：一个基板，位于基板表面的光刻版图形，在光刻版图形表面覆盖有一层或多层透明保护层，位于透明保护层上方的蒙膜，蒙膜将光刻版图形区域罩住；本发明还提供上述光刻版结构的制造方法，包括：在基板表面制备光刻版图形；在光刻版图形的表面形成一层或多层透明保护层；在基板上安装蒙膜。本发明通过在光刻版图形的表面沉积一层或多层透明保护层，对光刻版图形起到保护作用，可以减少和预防光刻版图形表面生成结晶缺陷，从而提高光刻版的投影准确度和良率产出，并且减少光刻版送修的几率，延长光刻版的使用寿命。

主权项

一种光刻版结构，包括一个基板，位于所述基板表面的光刻版图形，位于所述光刻版图形上方的蒙膜，所述蒙膜将所述光刻版图形区域罩住，其特征在于：在所述光刻版图形表面覆盖有一层或多层透明保护层，所述透明保护层位于所述蒙膜的下方。