| 摘要 |
本案系提供一种回收晶棒切割矽泥中矽与碳化矽粉的方法，包括下列步骤：(a)由切割矽晶棒后的矽泥中获得第一样品；(b)视第一样品中矽含量的多寡而决定采用二或三阶段之粒子相转移法，若矽含量高于碳化矽；(c)依序混合第一样品、水及第一油类，获得第一混合物；(d)静置第一混合物，将分层后的第一水层加以离心并乾燥，获得第一产物；(e)再依序混合第一产物、水及第二油类，获得第二混合物；(f)静置第二混合物，将分层后的第二水层加以离心并乾燥，获得第二产物，第二产物即为高纯度的矽粉且有极高之产率；(g)将第一油层离心及乾燥，获得第三产物主要为碳化矽粉；及(h)若程序采用三阶段之粒子相转移法来处理含矽量较低的矽泥时，则在步骤(d)之后，应以第一产物为样品而重覆第一阶段步骤，如此三阶段的粒子相转移法仍可回收得到矽粉。 |
