制程机台

摘要

一种制程机台包含被建构以承载一待处理物件之一载台、被建构以输送液体之一液体管、被建构以输送气体之一气体管、一混合装置以及一流体输出装置。混合装置被建构以混合液体及气体而形成一气液混合流体，其中该混合装置包含耦接该液体管之一第一入口部分、耦接该气体管之一第二入口部分及一出口部分。该第一入口部分与该第二入口部分之夹角约为90度。该第二入口部分包含具有复数个呈蜂窝状排列之孔洞之一气体分流器。流体输出装置耦接该出口部分且被建构以输出该气液混合流体至该载台上之待处理物件。