发明名称 |
薄膜太阳能电池画线缺陷检测方法 |
摘要 |
本发明提供一种薄膜太阳能电池画线缺陷检测方法,包括以下步骤:提供一薄膜太阳能电池,其制作方式包括以第一道制程对一透明导电层画线,以第二道制程对一光吸收层画线,以第三道制程对一导电层与光吸收层画线;施加一电流于该薄膜太阳能电池中,使该薄膜太阳能电池发光;以及以一影像撷取模组撷取该薄膜太阳能电池发光之影像,其中影像中不发光之直线为画线处,藉由该画线处左右呈现亮暗图形决定画线缺陷之位置。 |
申请公布号 |
TWI393202 |
申请公布日期 |
2013.04.11 |
申请号 |
TW098141853 |
申请日期 |
2009.12.08 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
林昆蔚;江易轩;陈俊廷 |
分类号 |
H01L21/66;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |