具可携式储存器之系统及其方法

摘要

一种系统，包括一输送器。一半导体制程工具包括一升降机用埠且被定位接近于输送器，如此使得升降机用埠可设计对于输送器与升降机用埠之间之一晶圆传送盒之运输。一上游储存器与一下游储存器均并置于输送器与半导体制程工具，上、下游储存器分别具有一个别储存空间与一个别机器人装置，个别储存空间系提供晶圆传送盒之使用，个别机器人装置系设计用以在其个别储存空间与输送器之间进行晶圆传送盒之运输，上游储存器系设计用以接收来自于一置顶运输系统之晶圆传送盒且将晶圆传送盒传递至输送器，下游储存器系设计用以接收来自于输送器之晶圆传送盒且将晶圆传送盒传递至置顶运输系统。