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经营范围
发明名称
PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF CRYSTALLINE GERMANIUM
摘要
申请公布号
KR20130036298(A)
申请公布日期
2013.04.11
申请号
KR20137001702
申请日期
2011.06.15
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
NGUYEN VICTOR T.;XIA LI QUN;BALSEANU MIHAELA;WITTY DEREK R.
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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