发明名称 PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF CRYSTALLINE GERMANIUM
摘要
申请公布号 KR20130036298(A) 申请公布日期 2013.04.11
申请号 KR20137001702 申请日期 2011.06.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 NGUYEN VICTOR T.;XIA LI QUN;BALSEANU MIHAELA;WITTY DEREK R.
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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