| 摘要 |
Verfahren zum Ermitteln der Fokuslage oder des Strahlprofils eines mittels einer Scanneroptik (5) oder x-y-Bewegungseinheit (5') in x-y-Richtung ablenkbaren und mittels einer Fokussieroptik (4) oder z-Bewegungseinheit (6) in z-Richtung verfahrbaren Laserstrahls (2) an mehreren Messpunkten im 2-dimensionalen Arbeitsfeld (7) oder im 3-dimensionalen Arbeitsraum des Laserstrahls (2), wobei an jedem der Messpunkte eine Lochblende (11) mit nachgeordnetem Detektor (13; 31) angeordnet wird, wobei an jedem der Messpunkte für eine x-y-Fokuslagen- oder Strahlprofilvermessung der Laserstrahl (2) mittels der Scanneroptik (5) oder x-y-Bewegungseinheit (5') in einem x-y-Raster über das Messloch (12) der Lochblende (11) bewegt wird und in jedem der Rasterpunkte bei ortsfester Scannerachse der Scanneroptik (5) oder x-y-Bewegungseinheit (5') die Laserleistung mit dem Detektor (13; 31) gemessen wird und/oder für eine z-Fokuslagenvermessung der Laserstrahl (2) mittels der Fokussieroptik (4) oder z-Bewegungseinheit (6) in z-Richtung innerhalb des Messloches (12) der Lochblende (11) verfahren wird und in jedem der Rasterpunkte die Laserleistung... |
